Characteristics on Process Parameters of $PbLaTiO_3$ Thin Film Deposited by RF Magnetron Sputter

RF magnetron sputter에 의한 $PbLaTiO_3$박막 제조시 증착변수에 관한 연구

  • 구일웅 (경북대학교 공과대학 무기재료공학과) ;
  • 박명식 (경북대학교 공과대학 무기재료공학과) ;
  • 노광수 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 조상희 (경북대학교 공과대학 무기재료공학과)
  • Published : 1996.05.01