Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1996.11a
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- Pages.155-157
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- 1996
Removal of metallic impurities on silicon surface and mechanism using remote hydrogen plasma
리모트 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 표면의 금속오염 제거 및 제거기구
Abstract
Keywords