RF Magnetron Sputtering 법으로 제조한 Pt 박막과 MgO 씨앗층의 우선배향성

  • 이창승 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 노광수 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 위당문 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 1996.05.01