Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1996.11a
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Pages.151-151
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1996

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

TUNGSTEN ETCHING FOR X-RAY MASK

X-선 마스크 제작을 위한 텅스텐 식각

정창영 (한양대학교 재료공학과) ;
송기창 (LG 전자기술원) ;
전영삼 (LG 전자기술원) ;
이돈희 (LG 전자기술원) ;
안진호 (한양대학교 재료공학과)

Published : 1996.11.01

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Abstract

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