한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 1996년도 재료학회 춘계학술발표회
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- Pages.28-28
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- 1996
D.C Reactive Sputter 법에 의한 $RuO_2$ 박막 제조
Fabrication of $RuO_2$ thin films by D.C. Reactive Sputting
- 발행 : 1996.05.01