Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Electrical resistivity of $RuO_2$ thin films

$RuO_2$ 박막의 비저항

  • 홍석경 (서울대학교 재료공학부 무기재료전공) ;
  • 문경하 (삼성전자 반도체 특수품질보증실 특수품질 2그룹) ;
  • 윤찬주 (삼성전자 반도체 특수사업부 LCD 개발2그룹) ;
  • 양홍근 (삼성전자 반도체 특수사업부 LCD 개발2그룹) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부 무기재료전공)
  • Published : 1996.05.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords