Micro Gas Sensor의 Membrane용 $SiN_x$막과 $SiN_x/SiO_x/SiN_x$막의 응력과 굴절율

• 이재석 (한양대학교 금속공학과) ;
• 박준식 (전자부품종합기술연구소) ;
• 박효덕 (전자부품종합기술연구소) ;
• 신상모 (전자부품종합기술연구소) ;
• 박종완 (한양대학교 금속공학과)

• Published : 1996.11.01

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