Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

산소,질소가 첨가된 유도결합형 염소 플라즈마의 실리콘 식각 특성 비교

  • 김현수 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이주훈 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 황기웅 (서울대학교 전기공학과)
  • Published : 1996.06.01
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