Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Structure and ppropperties of ($Ti_1-_xA_lx$)N thin films depposited by reactive spputtering

반응성 스퍼터링으로 증착한 ($Ti_1-_xA_lx$)N 박막의 특성 연구

  • 박종관 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 박주동 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 오태성 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • Published : 1996.06.01
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Abstract

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