Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Spin-On-Glass를 이용한 AFM Lithography에서 FE전류와 패턴과의 관계

  • 최창훈 (서울시립대학교 제어계측공학과) ;
  • 이상훈 (서울시립대학교 제어계측공학과) ;
  • 김수길 (서울시립대학교 제어계측공학과) ;
  • 최재혁 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 박선우 (서울시립대학교 제어계측공학과)
  • Published : 1996.06.01
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Abstract

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