한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Chemical Mechanical Polishing 공정에 의한 실리콘 전계방출 팁 어레이 형성방법 에 관한 연구

A Study of Silicon Field Emission Tip Array by Chemaical Mechanical Polishing Process

  • 이진호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 강성원 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김상기 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김용민 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 유형준 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • 발행 : 1996.06.01
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