Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1996.06a
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- Pages.100-101
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- 1996
A Study of Silicon Field Emission Tip Array by Chemaical Mechanical Polishing Process
Chemical Mechanical Polishing 공정에 의한 실리콘 전계방출 팁 어레이 형성방법 에 관한 연구
Abstract
Keywords