산소분위기 열처리법에 의한 SIMOX SOI의 특성개선

  • 배영호 (위덕대학교 전자공학과) ;
  • 권영규 (산업과학기술연구소 자동화부문) ;
  • 이종현 (경북대학교 전자공학과)
  • 발행 : 1996.06.01