Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

PtSi가 도포된 triode-type의 실리콘 팁 제작

  • 김용민 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이진호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 오병성 (충남대 물리학과)
  • Published : 1996.06.01
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