한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 1996년도 제11회 학술발표회 논문개요집
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- Pages.36-37
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- 1996
원격 플라즈마 유기금속화학증착법에 의한 GaN 박막 성장에 미치는 rf 질소 플라즈마의 영향
Effects of rf nitrogen Plasma on the growth of GaN thin films by remote Plasma-enhanced metal-organic chemical vapor deposition
- 손철수 (서울대학교 재료공학부 및 반도체공동연구소) ;
- 김민홍 (서울대학교 재료공학부 및 반도체공동연구소) ;
- 이재형 (서울대학교 재료공학부 및 반도체공동연구소) ;
- 허순옥 (서울대학교 재료공학부 및 반도체공동연구소) ;
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윤의준
(서울대학교 재료공학부 및 반도체공동연구소)
- Son, Cheol-Su (Automatic Control Research Center, Dept.of Electirc Engineering, Seoul National University) ;
- Kim, Min-Hong (Automatic Control Research Center, Dept.of Electirc Engineering, Seoul National University) ;
- Lee, Jae-Hyeong (Automatic Control Research Center, Dept.of Electirc Engineering, Seoul National University) ;
- Heo, Sun-Ok (Automatic Control Research Center, Dept.of Electirc Engineering, Seoul National University) ;
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Yun, Ui-Jun
(Automatic Control Research Center, Dept.of Electirc Engineering, Seoul National University)
- 발행 : 1996.06.01