한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

분광분석기와 정전탐침을 이용한 유도결합 플라즈마의 특성조사

Survey on the Characteristics of Inductively Coupled Plasma with Optical Spectrometer and Electrostatic Probe

  • 이교응 (성균관대학교 전공공학과) ;
  • 김병철 (기초과학지원연구소 플라즈마 진단제어실) ;
  • 한전건 (성균관대학교 금속공학과)
  • 발행 : 1996.02.01
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