Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Properties of Au films on Saphire Prepared by Sputtering deposition method

Sputtering 방법으로 제작된 Saphire 기판 위의 금 박막의 특성

  • 장홍규 (한국과학기술원 세라믹스연구부) ;
  • 김기환 (한국과학기술원 세라믹스연구부) ;
  • 이규왕 (박성진)
  • Published : 1996.02.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords