산소 이온 빔에 의해 제조된 $SnO_{2-x}$ 박막 센서의 가연성 가스$(CH_4, C_3H_8, H_2)$의 감응성 특성 연구

• 송석균 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 최원국 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 석진우 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 정형진 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 고석근 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 백홍구 (연세대학교 금속공학과) ;
• 최동수 (한국가스공사 연구개발원) ;
• 전진석 (한국가스공사 연구개발원)

• Song, Seok-Gyun (Korea Institute of Science and Technology) ;
• Choe, Won-Guk (Korea Institute of Science and Technology) ;
• Seok, Jin-U (Korea Institute of Science and Technology) ;
• Jeong, Hyeong-Jin (Korea Institute of Science and Technology) ;
• Go, Seok-Geun (Korea Institute of Science and Technology) ;
• Baek, Hong-Gu (Yonsei University) ;
• Choe, Dong-Su (Research and Development Center, Korea Gas Corporation) ;
• Jeon, Jin-Seok (Research and Development Center, Korea Gas Corporation)

• 발행 : 1996.02.01

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