Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1996.02a
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- Pages.23-25
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- 1996
Bonding characteristics of GaAs surface after wet cleaning
GaAs 표면에 미치는 wet cleaning 효과에 관한 연구
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Seo, Gyeong-Su
(Electronics and Telecommunications Research Institute)
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Gang, Min-Gu
(Yeonsei University)
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- Park, Byeong-Ho (Yeonsei University) ;
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Lee, Jong-Ram
(Pohang University)
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- Lee, Jae-Jin (Electronics and Telecommunications Research Institute)
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서경수
(한국전자통신연구소 반도체연구단)
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강민구
(연세대학교 세라믹 공학과)
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- 박병호 (연세대학교 세라믹공학과) ;
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이종람
(포항공대 재료공학과)
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- 이재진 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
- Published : 1996.02.01
Abstract
Keywords