Measurement of a refractive index and thickness of silicon-dioxide thin film on LCD glass substrate using a variable angle ellipsometry

가변입사각 타원해석법을 사용한 유리기판위의 이산화규소박막의 굴절율 및 두께 측정

  • 방현용 (아주대학교 자연과학 대학 물리학과) ;
  • 김현종 (아주대학교 자연과학 대학 물리학과) ;
  • 김상열 (아주대학교 자연과학 대학 물리학과)
  • Published : 1996.09.01