한국전자현미경학회:학술대회논문집

Korean Society of Microscopy (한국현미경학회)
권호 표지

6H-SiC 기판에 MOVPE공정으로 성장시킨 GaN 에피박막의 단면 TEM 관찰

  • 남옥현 (한국과학기술연구원 금속 연구부) ;
  • 김긍호 (한국과학기술연구원 세라믹스 연구부) ;
  • 변동진 (한국과학기술연구원 금속 연구부) ;
  • 금동화 (한국과학기술연구원 금속 연구부)
  • Published : 1995.12.01
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