Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference (한국원자력학회:학술대회논문집)
- 1995.05a
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- Pages.777-783
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- 1995
터빈 블레이드 재료 표면피복을 위해 제작한 Ion plating 장치 특성
Abstract
원전 steam turbine blade 재료로 사용 중인 stellite 6B 및 400계열 martensitic stainless강의 침식 저항성을 향상시키기 위해 reactive magnetron hot cathode sputter ion plating법을 이용하여 TiN을 코팅하였다. 먼저 hot cathode triode system에 의한 전류-전압 특성을 분석하였고, 증착된 TiN 박막의 상확인 및 우선 방위 변화, 그리고 불순물에 대한 substrate bias의 영향을 확인하였다. 또한 mass spectrometer를 이용하여 반응 챔버내에 존재하는 성분들을 정상적으로 분석하였다.
Keywords