한국자기학회:학술대회 개요집 (Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference)
- 한국자기학회 1995년도 춘계연구발표회 논문개요집
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- Pages.102-103
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- 1995
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- 2233-9485(pISSN)
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- 2233-9574(eISSN)
박막 헤드 제조를 위한 Titanium 금속 mask의 반응성 이온 식각에 관한 연구
A study of reactive Ion etching of Titanium for thin film head fabrication
- Yoon, S.H. (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
- Choi, H.S. (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
- Park, D.Y. (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
- Kim, I.E. (Samsung Advanced Institute of Technology)
- 발행 : 1995.05.01