Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Defect Formation and Gettering Behavior in a High Energy-High Dose Implanted Silicon

고에너지-고조사량 이온주입된 실리콘내의 결함 생성 및 Gettering 거동

  • 조남훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 장기완 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1995.11.01
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Abstract

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