Adhesion and Agglomeration Phenomena of Pt Films of Resistance Heat Source

저항열원체 Pt 박막의 밀착력과 응집화 현상

  • 이재석 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 박효덕 (전자부품종합기술연구소) ;
  • 신상모 (전자부품종합기술연구소)
  • Published : 1995.11.01