Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The characteristics of the PLT thin films prepared by ECR enhanced multi-target sputtering method

ECR enhanced multi-target sputtering 방법으로 제조된 PLT 박막의 특성

  • 김현호 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 김성태 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1995.11.01
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Abstract

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