초음파분무를 이용한 MOCVD에 의한 PZT 박막의 제조

Preparation of PZT Thin Films by MOCVD using Ultrasonic Spraying

  • 이석원 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 김인태 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 김동영 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 박순자 (서울대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 1995.11.01