Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1995.11a
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- Pages.31-31
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- 1995
Internal Gettering in a Czochralski-Grown Silicon Crystal
Czochralski 법으로 성장시킨 Silicon 단결정의 Internal Gettering에 관한 연구
Abstract
Keywords