The effects of substrates on the crystallization of amorphous silicon thin films

비정질 실리콘 박막의 결정화에 대한 기판의 영향

  • 김현철 (영남대학교 무기재료공학과) ;
  • 김현태 (영남대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1995.11.01