Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1995.06a
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- Pages.79-79
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- 1995
Hybrid Ion Beam Deposition에 의해 제조된 $SnO_{2-x}$ 박막에 Dopant d에 의한 가연성 가스의 감응성 특성 연구
- Song, Seok-Gyun (Division of Ceramics, KIST) ;
- Choe, Won-Guk (Division of Ceramics, KIST) ;
- Jeong, Hyeong-Jin (Division of Ceramics, KIST) ;
- Go, Seok-Geun (Division of Ceramics, KIST) ;
- Baek, Heung-Gu (Dept. of Metallurgical Engineering, Yonsei University) ;
- Choe, Dong-Su (Research and Development Center, Korea Gas Corporation) ;
- Jeon, Jin-Seok (Research and Development Center, Korea Gas Corporation)
- 송석균 (한국과학기술연구원 세레라믹스부) ;
- 최원국 (한국과학기술연구원 세레라믹스부) ;
- 정형진 (한국과학기술연구원 세레라믹스부) ;
- 고석근 (한국과학기술연구원 세레라믹스부) ;
- 백흥구 (연세대학교 금속공학과) ;
- 최동수 (한국가스공사연구개발원) ;
- 전진석 (한국가스공사연구개발원)
- Published : 1995.06.01
Abstract
Keywords