고상 에피택셜 방법에 의한 에피택셜 PtSi박막 형성

• 강민성 (제주대학교 물리학과) ;
• 최치규 (제주대학교 물리학과) ;
• 이계명 (제주대학교 전기공학과) ;
• 서경수 (한국전자통신연구소 반도체 연구단) ;
• 김성기 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
• 김건호 (경상대학교 물리학과)

• 발행 : 1995.06.01

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