한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 1995년도 제9회 학술발표회 논문개요집
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- Pages.33-33
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- 1995
화학.기계적 연마를 이용한 다층배선 공정에서의 절연막 평탄화
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김상기
(한국전자통신연구소 반도체연구단)
;
- 박민 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 백종태 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 이재진 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 구진근 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 남기수 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 유형준 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
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Kim, Sang-Gi
;
- Park, Min ;
- Baek, Jong-Tae ;
- Lee, Jae-Jin ;
- Koo, Jin-Geun ;
- Nam, Gi-Su ;
- Yoo, Hyung-Joon
- 발행 : 1995.06.01