Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1995.02a
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Pages.89-89
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1995

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Damage profiling of $Ar^+$ - Sputtered Si(100) by Medium Energy Ion Scattering(MEIS)

이재철 (충북대학교 물리학과) ;
정칠성 (충북대학교 물리학과) ;
강희재 (충북대학교 물리학과) ;
김현경 (표준과학연구원 표면분석그룹) ;
문대원

Published : 1995.02.01

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