2중모드 플라즈마 이온주입기술을 이용한 3차원 표면 개질

  • 한승희 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
  • 김해동 (경희대학교 화학과) ;
  • 이정혜 (한국과학기술연구원 특성분석센터)
  • 발행 : 1995.02.01