Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

An Effect of Ionization Potential on Preparation of Cu Films on Si(100) by ICBD

ICBD 방법에 의한 Si(100) 기판위 Cu 박막제작에 Ionization potential이 미치는 영향

  • 김기환 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 윤영수 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 최두진 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 고석근 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부)
  • Published : 1995.02.01
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Abstract

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