Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1995.02a
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Pages.055-56
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1995

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

RF Magnetron sputtering $WSi_2$ 박막 형성에 미치는 Ti층의 역할

한성호 (국민대학교 공과대학 금속재료공학과) ;
이재갑 (국민대학교 공과대학 금속재료공학과)

Published : 1995.02.01

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Abstract

Keywords