TiN/$TiSi_2$-bilayer 형성기구에 관한 연구

• 최치규 (제주대학교 물리학과) ;
• 오상식 (제주대학교 물리학과) ;
• 염병렬 (한국전자통신연구소 소자응용개발실) ;
• 이수민 (한국전자통신연구소 소자응용개발실) ;
• 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
• 김건호 (경상대학교 물리학과)

• 발행 : 1995.02.01

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