Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Solid pphase Eppitaxy in Amorpphized Silicon by$Si^+$ Ion Impplantation

$Si^+$ 이온주입에 의한 비정질씰리콘의 고상 Eppitaxy에 관한 연구

  • 오재근 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • Published : 1995.02.01
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Abstract

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