Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1995.02a
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- Pages.21-21
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- 1995
A Study on the Energy Level and Concentration Profile of Gold Diffused into Silicon Wafer by Rapid Thermal Processing
RTP에 의해 Si내로 확산된 Au의 에너지준위 및 그 농도분포에 관한 연구
Abstract
Keywords