Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 1995.06a
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- Pages.59-67
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- 1995
부분간섭성조명과 Central Obscuration이 고려된 5반사광하계의 설계와 성능평가
Abstract
부분간섭조명과 central obscuration의 Optical Transfer Function(OTF) 에의 영향을 조사해보고, 이의 programing 기법을 소개하며, 모든 3차 수차와 5차 구면수차가 제거된 5반사광학계에 적용하여 축소배율(M = +1/5)을 갖는 리소그래피용 광학계로서의 가능성을 알아보았다. 이렇게 하여 얻어진 광학계 central obscuration이 약 31%이고 과월을 ArF excimer 레이저( 파장 0.193
Keywords