Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Sub-half Micron Sized Contact Hole Filling by utillizing Al-reflow process

Al-reflow 공정을 이용한 고단차 Sub-halt Micron Contact-filling

  • 위영진 (삼성전자(주)반도체연구소) ;
  • 박인선 (삼성전자(주)반도체연구소) ;
  • 박창수 (삼성전자(주)반도체연구소) ;
  • 이상인 (삼성전자(주)반도체연구소) ;
  • 안성태 (삼성전자(주)반도체연구소)
  • Published : 1994.11.01
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Abstract

Keywords