Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The properties of photoresist for T-shape pattern formation

T-형 패턴형성을 위한 포토레지스트 특성

  • 박병선 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 유형준 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이대엽 (금호화학연구소) ;
  • 김성주 (금호화학연구소)
  • Published : 1994.11.01
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Abstract

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