Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Metal Contaminations in Si-Processes studied by TRXRF

TRXRF를 사용한 반도체 공정 중 금속 오염 발생 및 제거 특성 분석

  • 이춘수 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 백종태 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • Published : 1994.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords