Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1994.11a
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- Pages.58-58
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- 1994
Effects of Repeated SCI-Oxidation Processes on the Silicon Surface in Simcinductor Processing
반도체 공정중 연속적인 SCI-산화 과정이 실리콘 기판 표면에 미치는 영향
Abstract
Keywords