Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The development of a Hot Wall Type RTA using Two Hot Zone Furnace

Two Hot Zone Furnace를 이용한 Hot Wall Type RTA 개발

  • 이길광 (삼성전자(주)반도체연구소) ;
  • 김성진 (삼성전자(주)반도체연구소) ;
  • 후지하라 (삼성전자(주)반도체연구소) ;
  • 안성태 (삼성전자(주)반도체연구소)
  • Published : 1994.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords