이온선보조증착에 의한 HEMT 소자용 $Si_{1-x}Ge_{x}$ 층의 정합성장

• 박상욱 (연세대학교 금속공학과) ;
• 심재엽 (연세대학교 금속공학과) ;
• 한희돈 (연세대학교 금속공학과) ;
• 백홍구 (연세대학교 금속공학과)

• 발행 : 1994.11.01

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