Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Thermal Stability of Ultra Fine Porous Silicon Structures

초미세 다공질 실리콘 구조의 열적 안정성 연구

  • 박경호 (한국전자통신연구소 반도체 연구단) ;
  • 이용일 (한국전자통신연구소 반도체 연구단)
  • Published : 1994.11.01
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Abstract

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