한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Sub-Half Micron Patterning을 위한 저온 Resist 식각

Low Temperature Etching of Resist for Sub-Half Micron Patterning

  • 박찬동 (현대전자 반도체 제1연구소) ;
  • 김준모 (현대전자 반도체 제1연구소) ;
  • 김진웅 (현대전자 반도체 제1연구소) ;
  • 설여송 (현대전자 반도체 제1연구소) ;
  • 박해성 (현대전자 반도체 제1연구소) ;
  • 최수한 (현대전자 반도체 제1연구소)
  • 발행 : 1994.05.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드