Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Low Temperature Etching of Resist for Sub-Half Micron Patterning

Sub-Half Micron Patterning을 위한 저온 Resist 식각

  • 박찬동 (현대전자 반도체 제1연구소) ;
  • 김준모 (현대전자 반도체 제1연구소) ;
  • 김진웅 (현대전자 반도체 제1연구소) ;
  • 설여송 (현대전자 반도체 제1연구소) ;
  • 박해성 (현대전자 반도체 제1연구소) ;
  • 최수한 (현대전자 반도체 제1연구소)
  • Published : 1994.05.01
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Abstract

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