Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Stress Behavior of Poly-Si According to the Substrate Conditions

기판상태에 따른 폴리실리콘의 응력거동

  • 백승호 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 김형동 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 홍순관 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 김철주 (서울시립대학교 전자공학과)
  • Published : 1994.05.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords